显微成像物镜
合用于ITO、粒子检测、晶圆检测；
可共同分歧倍率VM3系列显微成像模组使用；
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| M Plan Apo 2X HL TG 显微成像物镜 | / | / | / | / | / | / | / | / | 索求 | |
| M Plan Apo 5X HL TG 显微成像物镜 | / | / | / | / | / | / | / | / | 索求 | |
| M Plan Apo 10X HL TG 合用于ITO、粒子检测、晶圆检测 | / | / | / | / | / | / | / | / | 索求 | |
| M Plan Apo 20X HL TG 合用于ITO、粒子检测、晶圆检测 | / | / | / | / | / | / | / | / | 索求 |
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